电感耦合等离子体质谱-
ICP-MS,是一种新型的无机元素和同位素分析技术,可快速同时检测周期表上几乎所有元素。
ICP-MS技术在分析能力上,超过传统的无机分析技术如电感耦合等离子体光谱技术(ICPAES)、石墨炉
原子吸收(GFAAS)和汞冷
原子吸收技术(CVAAS)的总和,被称为当代分析技术最激动人心的发展。
ICP-MS技术的应用领域包括:
● 环境样品分析,包括自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、废弃物等的分析;
● 半导体材料分析
● 玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析;
● 地质学研究;
● 生物食品及医药临床研究;
● 核材料分析
● 石油化工样品分析;
● 法医应用与研究;
● 最近,与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为
ICP-MS技术应用的一个焦点。
ICP-MS分析特性:
● 可快速同时检测周期表上几乎所有元素
● 最低的检出限(低至ppq级)
● 分析效益/成本比最佳
● 最宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度
● 谱线最简单、干扰最小,准确度和精密度好
● 需要样品量很低(ul至ml),分析速度很快(1〜3分钟/样品)
● 检测模式灵活多样
半导体工业常用材料中超痕量污染物分析:
固体:Si;GaAa单晶切片;石英、碳化硅等炉材料;高纯金属电极等
液体:超纯水;HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
气体:SiH4;TE0S;NF3;N2等
而LC-MS一般用于分析有机物,如药物、食品添加剂等