主题:【已应助】开年不顺,ICP连续烧熔两支炬管中心管,求高人,这是为什么!!?

浏览0 回复68 电梯直达
风住尘香
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冷却气,辅助气的流量可以再大些;另外,在安装新的炬管后,检测下线圈和炬管是否同心,不能使炬管一边离线圈太近
wellys
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估计应该是辅助气流量不够啊,观察下辅助气的流量计啊
依风1986
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原文由 indlut(v2676944) 发表:
估计有两个原因:1.可能是等离子辅助气流量不够,导致等离子体距离中心管过近,温度高把它烧化了。2.可能是射频线圈安装位置有误,导致等离子体距离中心管过近。


这些可能性都存在,辅助气流量不够,是什么原因导致的?仪器参数貌似没动过,其它如等离子气体,雾化气等流量正常?
依风1986
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原文由 wellys(wellys) 发表:
估计应该是辅助气流量不够啊,观察下辅助气的流量计啊
灰尘的问题有可能堵住
miantiao111
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xg6043
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hnteng
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 我们也烧过矩管。主要原因是冷却气量不够。偶尔是由于矩管与感应圈不同心。
ian.cheng
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beyond1977
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千层峰
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