主题:【求助】trace 1310 分流流量达不到设定值,该如何解决?

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tzc85692548
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trace 1310 分流流量达不到设定值,该如何解决?

分流衬管,分流比设置为10:1时,进样口压力能达到设定值,各路流量正常。但是分流比设

置为20:1或者更高时,进样口压力和分流流量达不到设定值,机器不能Ready。请问各位帮

忙看看是哪儿出了问题?谢谢!
推荐答案:千层峰回复于2014/08/26
你把总流量开到50ml/min就好了,
分流比10:1,总流量在19ml/min左右
分流比20:1,总流量要40ml/min左右。。
30:1的分流比,那就需要更大的总流量了。
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tang566
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分流比是多少?柱流量是多少?将气瓶压力阀的出口压力调大些。
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原文由 tang566(tang566) 发表:

分流比是多少?柱流量是多少?将气瓶压力阀的出口压力调大些。


分流比10:1时,都还正常。但是分流比调至20:1或者30:1时,就不行了。柱流量是1mL/min,恒流模式。
千层峰
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你把总流量开到50ml/min就好了,
分流比10:1,总流量在19ml/min左右
分流比20:1,总流量要40ml/min左右。。
30:1的分流比,那就需要更大的总流量了。
tzc85692548
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原文由 千层峰(jxyan) 发表:
你把总流量开到50ml/min就好了,
分流比10:1,总流量在19ml/min左右
分流比20:1,总流量要40ml/min左右。。

30:1的分流比,那就需要更大的总流量了。


好的,谢谢! 直接在工作站里将总流量调到50ml/min就行?
千层峰
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原文由 tzc85692548(tzc85692548) 发表:
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你把总流量开到50ml/min就好了,
分流比10:1,总流量在19ml/min左右
分流比20:1,总流量要40ml/min左右。。

30:1的分流比,那就需要更大的总流量了。


好的,谢谢! 直接在工作站里将总流量调到50ml/min就行?


你先试试。50ml/min应该够了。总流量太低,不够分配,所以分流流量就无法达到设定值了。
tzc85692548
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你把总流量开到50ml/min就好了,
分流比10:1,总流量在19ml/min左右
分流比20:1,总流量要40ml/min左右。。

30:1的分流比,那就需要更大的总流量了。


好的,谢谢! 直接在工作站里将总流量调到50ml/min就行?


你先试试。50ml/min应该够了。总流量太低,不够分配,所以分流流量就无法达到设定值了。


好的,谢谢!
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