主题:【原创】JEOL 2010 TEM合轴及像散操作-附操作界面 请多指教 也请大家发一些打衍射,拍明场,暗场的操作方法和经验

浏览0 回复1 电梯直达
剑戬之
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从插入电杆后开始:
一、找样品薄区(孔)

1、保证物镜光阑和选区光阑移出;         

2、选低倍模式(LOW MAG),调至250×;           

3、选光斑1;      SPOT=1

4、BRIGHTNESS 逆调 放散束斑至最大(滴滴);

5、如果有聚光镜光阑像,则通过聚光镜光阑旋钮移开;

6、通过滚球移动样品到屏幕中心;

7、选高倍模式( MAG1),调至20K×

二、电子枪(灯丝)对中

1、设OBJ 为6.91;

2、MAG1 和50K×模式;

3、在高倍模式( MAG1)下,选束斑(SPOT SIZW)和会聚角(α-SELECTOR)为2-3;在交叉点(beam crossover),调BRITHTNESS,电子束放散,会聚几次;保证电子束放散,会聚时是以交叉点为中心,如果不是,则通过BEAM(上左右)并调SHITF调至中心;

4、在高倍模式( MAG1)下,选束斑(SPOT SIZW)和会聚角(α-SELECTOR)为1-3; 在交叉点(beam crossover),调BRITHTNESS,电子束放散,会聚几次;保证电子束放散,会聚时是以交叉点为中心,如果不是,则通过GUN(右下)并调SHITF调至中心;

5、通过GUN DER X/Y  增加强度使发射像对称;

三、聚光镜对中

1、在高倍模式( MAG1)下,选束斑(SPOT SIZW)和会聚角(α-SELECTOR)为1-3; 在交叉点(beam crossover),调BRITHTNESS,电子束放散,会聚几次;保证电子束放散,会聚时是以交叉点为中心,如果不是,则通过GUN(右下)并调SHITF调至中心;

2、在高倍模式( MAG1)下,选束斑(SPOT SIZW)和会聚角(α-SELECTOR)为5-3;在交叉点(beam crossover),调BRITHTNESS,电子束放散,会聚几次;保证电子束放散,会聚时是以交叉点为中心,如果不是,则通过BEAM(上左右)并调SHITF调至中心;

3、重复1、2;直至改变SPOT SIZE从1~5时,电子束不漂移;

四、聚光镜光阑对中

1、在高倍模式( MAG1)下,选束斑(SPOT SIZW)和会聚角(α-SELECTOR)为2-3;在交叉点(beam crossover),调BRITHTNESS,电子束放散,会聚几次;保证电子束放散,会聚时是以交叉点为中心,如果不是,则通过BEAM(上左右)并调SHITF调至中心;

2、放散电子束,看到聚光镜光阑像;

3、通过聚光镜光阑旋钮将光阑移至中心,直到电子束不移动;

4、在200K×下重复1~3;

五、聚光镜消像散

通过电压中心对中调整后,电子束仍不圆,聚光镜的像散必须消除,减小球差:

1、按COND STIG(上左);

2、调整DEF X/Y,使电子束变圆;

3、按BRIT TILT(上左);

4、调BTIGHTNESS,放散满屏;

六、调整Z-height(eucentric height)

1、将样品边缘移至中心;

2、将OBT FOCUS调节至0,即DV=+0;

3、通过Z-CONTROL来聚焦图像;  衬度最小;  也可用WOBBLER IMAGE X/Y协助调整;

七、电压中心对中;

选HT(上右),并选BTIGHY TILT ,调整DEF X/Y直到像不移动

      ---此步非常重要;

      ---通过双目镜或放大倍数得到好的结果;

      ---如果束斑不圆,成椭圆,此步的调整是必须的;

      ---再次按HT,取消;

八、物镜消像散

获得BF像,按OBJ STIG(上左),调整DEF X/Y,使电子束变圆;

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洪星二锅头
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