从插入电杆后开始:一、找样品薄区(孔)
1、保证物镜光阑和选区光阑移出;
2、选低倍模式(LOW MAG),调至250×;
3、选光斑1; SPOT=1
4、BRIGHTNESS 逆调 放散束斑至最大(滴滴);
5、如果有聚光镜光阑像,则通过
聚光镜光阑旋钮移开;
6、通过滚球移动样品到屏幕中心;
7、选高倍模式( MAG1),调至20K×
二、电子枪(灯丝)对中
1、设OBJ 为6.91;
2、MAG1 和50K×模式;
3、在高倍模式( MAG1)下,选束斑(SPOT SIZW)和会聚角(α-SELECTOR)为
2-3;在交叉点(beam crossover),调BRITHTNESS,电子束放散,会聚几次;保证电子束放散,会聚时是以交叉点为中心,如果不是,则通过
BEAM(上左右)并调SHITF调至中心;
4、在高倍模式( MAG1)下,选束斑(SPOT SIZW)和会聚角(α-SELECTOR)为
1-3; 在交叉点(beam crossover),调BRITHTNESS,电子束放散,会聚几次;保证电子束放散,会聚时是以交叉点为中心,如果不是,则通过
GUN(右下)并调SHITF调至中心;
5、通过GUN DER X/Y 增加强度使发射像对称;
三、聚光镜对中
1、在高倍模式( MAG1)下,选束斑(SPOT SIZW)和会聚角(α-SELECTOR)为
1-3; 在交叉点(beam crossover),调BRITHTNESS,电子束放散,会聚几次;保证电子束放散,会聚时是以交叉点为中心,如果不是,则通过
GUN(右下)并调SHITF调至中心;
2、在高倍模式( MAG1)下,选束斑(SPOT SIZW)和会聚角(α-SELECTOR)为
5-3;在交叉点(beam crossover),调BRITHTNESS,电子束放散,会聚几次;保证电子束放散,会聚时是以交叉点为中心,如果不是,则通过
BEAM(上左右)并调SHITF调至中心;
3、重复1、2;直至改变SPOT SIZE从1~5时,电子束不漂移;
四、聚光镜光阑对中
1、在高倍模式( MAG1)下,选束斑(SPOT SIZW)和会聚角(α-SELECTOR)为
2-3;在交叉点(beam crossover),调BRITHTNESS,电子束放散,会聚几次;保证电子束放散,会聚时是以交叉点为中心,如果不是,则通过
BEAM(上左右)并调SHITF调至中心;
2、放散电子束,看到聚光镜光阑像;
3、通过
聚光镜光阑旋钮将光阑移至中心,直到电子束不移动;
4、在200K×下重复1~3;
五、聚光镜消像散
通过电压中心对中调整后,电子束仍不圆,聚光镜的像散必须消除,
减小球差:1、按COND STIG(上左);
2、调整DEF X/Y,使电子束变圆;
3、按BRIT TILT(上左);
4、调BTIGHTNESS,放散满屏;
六、调整Z-height(eucentric height)
1、将样品边缘移至中心;
2、将OBT FOCUS调节至0,即DV=+0;
3、通过Z-CONTROL来聚焦图像; 衬度最小; 也可用WOBBLER IMAGE X/Y协助调整;
七、电压中心对中;
选HT(上右),并选BTIGHY TILT ,调整DEF X/Y直到像不移动
---此步非常重要;
---通过双目镜或放大倍数得到好的结果;
---如果束斑不圆,成椭圆,此步的调整是必须的;
---再次按HT,取消;
八、物镜消像散
获得BF像,按OBJ STIG(上左),调整DEF X/Y,使电子束变圆;
![]()
![]()