主题:【讨论】Thermo ISQ 离子源温度不稳定,有遇到这种情况的吗

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fddi
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Thermo ISQ  ,机子用了不到2年,最近发现离子源温度很难稳定,一直在设定温度的正负12度左右波动,怀疑是温控模块的问题,不知道大家有没有遇到这个问题过?打800,工程师让拆开看看,螺丝紧一紧,不知道怎么下手……
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xiaowei_zhuang
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我用的Trace ISQ, 没遇到过那么大的温度波动,如果自己没把握就请工程师上门看看吧。
symmacros
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看看说明书,看看能不能紧一下温控的连线,如果无把握就请工程师来检查维修。
用心飞
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千层峰
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fwonder
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fwonder
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没有正12的哇,试过-12的,没注意到超过设定温度的情况
symmacros
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lostking2008
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(1)打开离子源后, 用万用表查heater的电阻有没有问题, 消除接触不良,断裂焊点,等等问题;

(2)其次检查温度传感器,消除不良接触,短路,或损坏;
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qqqid
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tenky
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有可能是ISQ离子源上固定加热棒的螺丝松了,紧紧也许就好了
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