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主题：【讨论】请问检测器怎样清洗？您是怎样清洗的呢？

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zyl3367898
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2015/11/8 17:54:36 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
气相所带的说明书上有拆卸检测器的方法，好像没有清洗的方法。
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symmacros
jimzhu
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2015/11/8 20:41:43 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
现在没有人用氟利昂清洗。HF可能对积沉的Si有作用。
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Gogo_Kuo
swgaogao
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2015/11/9 9:07:09 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没洗过
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forth
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2015/12/9 16:26:01 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
清洗喷嘴的方法很容易导致喷嘴漏，另外向进样口注射20微升的水，也要看柱子类型。楼主这个内容是给初学者看的，可能有点不适合啊。
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