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主题：【原创】请教大侠，为什么我的溅射仪靶材没用多久就扭曲变形了呢？

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lala2003
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发表于：2015/11/19 14:53:12 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题，溅射镀膜仪的铂靶没用多久就扭曲变形，是什么原因呢？
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2015/11/22 11:44:38 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
感觉是不是铂靶太薄了呀？溅射加热导致变形？另外是不是铂靶尺寸太大，是物理变形吗？你可打开看看。有新靶需求，可联系我啊呵呵。
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广州竞赢化工
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2016/2/24 10:36:01 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问每次溅射的时间是多久？溅射电流多大？
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kykysem
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2016/3/11 13:57:46 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好像是电流过大，是不是经常给电极镀膜需要很厚，这样才会造成靶材的消耗过快。
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Hyl1
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2016/3/19 14:11:40 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个变形有点恐怖，没见过。。。    查到原因了吗？
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驰奔
srd2009
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2016/3/20 17:27:13 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好像靶没装好吧，
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博远微纳
v3161038
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2016/11/15 17:01:23 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
相关系数和实验环境说一下？

博远微纳（中国）有限公司  创立于2004年，共有员工20余人，其中高级工程师8人，研发团队7人，是中国区第一家专注于研发、生产、销售溅射仪及扫描电镜的高新技术企业。公司集溅射仪，镀膜仪，扫描电镜，维护改造四位一体，拥有一支专业的工程师团队，并将溅射仪、镀膜仪系列产品的质量和性能提高到国际一流的水准。在过去的10多年间，博远微纳单在中国区已销售、服务超过1000位商业客户，累积销售近千台溅射仪、镀膜仪和扫描电镜等配套服务。

据相关资料统计，博远微纳单在中国大陆的市场份额已经达到30%以上。国际市场情况请联系公司国际销售顾问。

公司以严格的质量保证体系（公司认证ISO: 9001，产品符合欧盟CE标准，部分认证危险化学品及美国质量认证），一流的服务标准，领先的生产技术，精湛的制造工艺，按照客户需求设计、制造、生产各类行溅射仪、镀膜仪、扫描电子显微镜等系列产品。
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