实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8042707今日发帖：564 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
扫描电镜（SEM/EDS）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【原创】请教大侠，为什么我的溅射仪靶材没用多久就扭曲变形了呢？

浏览0 回复6 电梯直达
lala2003
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2015/11/19 14:53:12 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题，溅射镀膜仪的铂靶没用多久就扭曲变形，是什么原因呢？
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 气相色谱仪(GC) 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
可能感兴趣
skyhunter
skyhunter
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2015/11/22 11:44:38 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
感觉是不是铂靶太薄了呀？溅射加热导致变形？另外是不是铂靶尺寸太大，是物理变形吗？你可打开看看。有新靶需求，可联系我啊呵呵。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
广州竞赢化工
SH101729
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2016/2/24 10:36:01 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问每次溅射的时间是多久？溅射电流多大？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
kykysem
kykysem
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2016/3/11 13:57:46 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好像是电流过大，是不是经常给电极镀膜需要很厚，这样才会造成靶材的消耗过快。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
Hyl1
v2658999
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2016/3/19 14:11:40 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个变形有点恐怖，没见过。。。    查到原因了吗？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
驰奔
srd2009
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2016/3/20 17:27:13 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好像靶没装好吧，
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
博远微纳
v3161038
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2016/11/15 17:01:23 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
相关系数和实验环境说一下？

博远微纳（中国）有限公司  创立于2004年，共有员工20余人，其中高级工程师8人，研发团队7人，是中国区第一家专注于研发、生产、销售溅射仪及扫描电镜的高新技术企业。公司集溅射仪，镀膜仪，扫描电镜，维护改造四位一体，拥有一支专业的工程师团队，并将溅射仪、镀膜仪系列产品的质量和性能提高到国际一流的水准。在过去的10多年间，博远微纳单在中国区已销售、服务超过1000位商业客户，累积销售近千台溅射仪、镀膜仪和扫描电镜等配套服务。

据相关资料统计，博远微纳单在中国大陆的市场份额已经达到30%以上。国际市场情况请联系公司国际销售顾问。

公司以严格的质量保证体系（公司认证ISO: 9001，产品符合欧盟CE标准，部分认证危险化学品及美国质量认证），一流的服务标准，领先的生产技术，精湛的制造工艺，按照客户需求设计、制造、生产各类行溅射仪、镀膜仪、扫描电子显微镜等系列产品。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： 请教大侠，为什么我的溅射仪靶材没用多久就扭曲变形了呢？
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁