主题:F20上 left trackball 到底是如何移动光束的?

浏览0 回复4 电梯直达
gyanan
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该帖子已被shxie设置为精华;
教我的老师让我做gun alignment的时候不要动它,我的经验感觉似乎这样做的确会得到更好的alignment,这样做到底有没有道理?这个left trackball是如何改变光束位置的?是通过tilt或者shift聚光镜系统实现的呢还是在物镜系统中控制一个偏转线圈之类的东西呢?
谢谢了!!
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imrwb
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在做Gun Alignment时,通常要用多功能钮,不要用左轨迹球,因为在枪对中时常常做的Tilt和Shift是对电子枪的,而左轨迹球是动作的是束偏转线圈,不是一套东西。
gyanan
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知道了。
那么这样的话我如何能监视这个偏转线圈的电流强弱呢?因为既然是一个偏转线圈必然会带来相差,影响成像质量,是不是应该在合轴时先把它归零呢?这个线圈是不是每次退出程序之后就自动归零呢?我记得好像右下角的一个状态窗口好像可以显示某些lens的电流值,这个偏转线圈是不是也显示在那里的,叫什么名字?
tem_abc
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原文由 gyanan 发表:
教我的老师让我做gun alignment的时候不要动它,我的经验感觉似乎这样做的确会得到更好的alignment,这样做到底有没有道理?这个left trackball是如何改变光束位置的?是通过tilt或者shift聚光镜系统实现的呢还是在物镜系统中控制一个偏转线圈之类的东西呢?
谢谢了!!

左轨迹球控制的是束偏转线圈(beam deflector),起着束平移的功能。如果电镜对中完好(主要是样品的高度、束平移节点、束倾斜节点等),束平移只是平行地移动光束(犹如STEM),不会对成像造成很大的危害的。对中时没必要将束偏转线圈的电流归零。
gyanan
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