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主题：【求助】Agilent 7500C 抽真空问题

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weind8695
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发表于：2016/04/05 11:53:38 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
实验室有台Agilent 7500C的机器，一直都用着好好的，周末回来开机发现没法完成从关机到待机状态的真空。
以前没有发生这样的状况，上周五把机械泵的油换掉了，周一回来开机就发现了问题。 一般机器从关机到待机需要抽20-30分钟的真空，但现在Analyzer Pressure那没法显示压力了。会不会是放油的螺丝没弄紧而导致机械泵没能达到分子泵工作的压力呢？
谢谢各位老师指导，附上图片
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2016/4/5 13:14:22 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
机械泵已经把背压抽到 3Pa以下，按说分子涡轮泵该启动、继续抽真空。只能推测分子涡轮泵坏了。
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weind8695
v3029728
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2016/4/5 15:21:05 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:
机械泵已经把背压抽到 3Pa以下，按说分子涡轮泵该启动、继续抽真空。只能推测分子涡轮泵坏了。

谢谢老师指导，明天马上联系工程师.....
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阶前尘
jieqian1211
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2016/4/5 20:09:10 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
泄真空的时候出现过不正常吗
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狼牛牛
lang2899
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2016/4/7 14:06:18 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最后问题是怎么解决的呢？
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m3094157
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2016/4/12 16:41:03 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我用的A7900，也出现过这个情况，无法从关机切换到待机，提示四级杆真空不够，原因是有一个真空关闭阀没自动关紧，它是靠氩气驱动的，但由于未知原因氩气没能驱动真空阀关紧，导致机械泵和分子泵不转无法待机，工程师通过维护界面，可以软件控制阀门切换关紧，问题解决。
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weind8695
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2016/7/29 3:04:13 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
经过了2个月的维修和测试，最后确定是分子泵坏了。 工程师上门换上新的（翻新）的分子泵后工作正常。

然后工程师提到，不要经常完全关掉机器，分子泵在从前启动的时候消耗很很大。
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chenzhuojun0723
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2016/7/29 11:57:28 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 weind8695(v3029728) 发表:
经过了2个月的维修和测试，最后确定是分子泵坏了。 工程师上门换上新的（翻新）的分子泵后工作正常。

然后工程师提到，不要经常完全关掉机器，分子泵在从前启动的时候消耗很很大。


这个要看平衡校准，通常厂商平衡校正的时候只追求最终的速度，那么在开机和关机的过程中，振动值就会增大，这样就会损伤分子涡轮泵。
而最新的技术是可以在启动和停机的过程中把振动值降到最小，这样就会对分子涡轮泵的损耗降到最低。
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timstoicpms
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2016/7/29 12:11:11 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 weind8695(v3029728) 发表:
经过了2个月的维修和测试，最后确定是分子泵坏了。 工程师上门换上新的（翻新）的分子泵后工作正常。

然后工程师提到，不要经常完全关掉机器，分子泵在从前启动的时候消耗很很大。

G3151A/B        7500a        第一代7500a
G3152A            7500i
G3153A/B        7500s
G3155A/B        7500c
G3162A/B        7500cs      第一代7500cs

安捷伦于2014年1月31日停止 第一代7500a/cs和i/s/c 机型的维修备件库存保证。也就是说，这些维修备件用一个 少一个，用完即止。
估计2017年底就会停止 第二代7500a/cs/ce/cx 机型的维修备件库存保证。
G3271A                7500a        第二代7500a
G3272A                7500ce      2004年5月-2007年底
G3272B                7500cx      2007年6月开始
G3273A/B            7500cs
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2016/7/29 12:14:50 Last edit by timstoicpms
weind8695
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2016/7/30 1:54:57 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:

G3151A/B        7500a        第一代7500a
G3152A            7500i
G3153A/B        7500s
G3155A/B        7500c
G3162A/B        7500cs      第一代7500cs

安捷伦于2014年1月31日停止 第一代7500a/cs和i/s/c 机型的维修备件库存保证。也就是说，这些维修备件用一个 少一个，用完即止。
估计2017年底就会停止 第二代7500a/cs/ce/cx 机型的维修备件库存保证。
G3271A                7500a        第二代7500a
G3272A                7500ce      2004年5月-2007年底
G3272B                7500cx      2007年6月开始
G3273A/B            7500cs

是的，工程师也这样提到，配件不会再生产了，而且基本都是翻新的
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