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透射电镜（TEM）
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主题：【求助】EDX能谱测量准确性？

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dingdangyu1030
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发表于：2016/09/01 10:43:09 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
操作中总是遇到这几个问题，但不知道原因，求答案。
1. 透射电镜中EDX测出Cu是什么鬼？
  特别是用Cu网的时候，过去总说是因为Cu网，但是电子束明明离Cu网老远，在C膜的中心，为什么会有Cu的信号？
2.同样的样品，SEM测试结果更符合预期？
谢谢
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2016/9/1 15:36:56 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Cu信号主要是由照明光路产生的硬X射线激发的，照射范围相当大。
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2016/9/5 14:57:12 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
只要用了铜网，铜峰就免不了出现！虽然你没有直接将电子束打在铜网上，散射电子是避免不了的。

第二个问题是关于定量分析。
能谱的定量分析受很多因素的影响，即使扫描电镜中的测试结果准确性也要看具体情况。
透射电镜中的能谱影响因素也很多，本来就不能用于定量分析，充其量只能是半定量。
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2016/9/5 14:59:35 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
Cu信号主要是由照明光路产生的硬X射线激发的，照射范围相当大。
谢谢蓝莓版主
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dingdangyu1030
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2016/9/5 14:59:57 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wjianna(wjianna) 发表:
只要用了铜网，铜峰就免不了出现！虽然你没有直接将电子束打在铜网上，散射电子是避免不了的。

第二个问题是关于定量分析。
能谱的定量分析受很多因素的影响，即使扫描电镜中的测试结果准确性也要看具体情况。
透射电镜中的能谱影响因素也很多，本来就不能用于定量分析，充其量只能是半定量。
谢谢您的回复
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