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主题：【求助】penning pressure和pirani pressure 是什么意思呢？

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发表于：2017/11/07 16:42:46 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
赛默飞的ICP-MS(iCAP Q) 中penning pressure和pirani pressure 是什么意思呢？
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2017/11/7 20:10:06 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这是两种检测真空度的 仪器/工具 名字：Pirani 皮拉尼，测粗真空，最低是 <1 Pa；Penning 潘宁规，测低真空，最低可小于 1e-5 Pa。
在热电四极杆ICP-MS上，Pirani 指的是点火后，两锥之间的真空度，比如 1.94 mbar = 194 Pa；Penning 指的是后端 四极杆质量分析器-检测器 腔体的真空度，比如 5.77e-7 mbar = 5.77e-5 Pa
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sdjnqcx
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2017/11/10 12:59:59 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是测试真空度的。一个测试两个锥之间的真空，一个测试真空室的真空
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