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原文由 nanomaster 发表:
传统扫描器是管式扫描器，具有以下优点：
1）结构简单小巧，容易制造
2）机械固有频率较高，对环境震动不敏感
3）圆柱对称结构有利于消除XY方向热漂移（但如果制造工艺稳定如否可能会引起不对称，而无法实现该优点）
缺点是：
1）由于压电陶瓷固有的缺陷如：非线性、滞后、蠕变以及老化等引起测试误差。
这不只是单管式扫描器的缺点，而是所有压电扫描器的共同缺点，不管是单管式还是平板式的或者其他类型的。平板扫描器也需要用非线性校正或闭环控制来克服这些缺陷。当然单管式扫描器同样可以通过添加闭环系统来克服这些缺陷，改善图片质量
2）扫描器的结构误差，是指扫描器自身的结构缺陷引起的误差，主要包括价差耦合误差、非正交误差以及扫描器的形状误差。
3）管式扫描器容易出现“钟摆效应”，导致两侧的扫描失真，尤其是对较厚的样品而言
4）管式扫描器在偏离XY轴的方向及易出现非线性状况，导致图像失真
目前新出现的平板式扫描器，如果再配上三轴实时校正的闭环扫描则对于AFM的性能有非常大的改进。
平板扫描器能够将XYZ三轴分离，从而消除各轴之间的交互耦合效应，另外由于其Z轴独立，所以可以将Z向范围做得很大，从而满足一些特殊的应用场合。管式扫描器由于各方面的限制，Z向范围都比较小。
具有如下优点：
1）能够消除或者尽量减小以上管式扫描器引起的误差
2）易于实现大范围均匀的扫描
3）为生物型AFM开辟了广阔的领域
生物型的AFM一般需要和光学显微镜联用，从而最大限度的发挥光学显微镜和AFM的优势。采用平板式扫描器则可以很方便的将AFM放置在光学显微镜的载物台上。
4）平板式扫描器代表着未来AFM的发展方向
但是平板式扫描器也有自身的缺点：
1）制造成本较贵，制造较为复杂
2）目前采用平板式扫描器的厂商较少（可能是开发成本较高的原因），据说有VEECO、JPK、PNI等少数几家采用或者正在开发平板式扫描器
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