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主题：【已应助】硅烷气体中的氯化物对硅烷有什么影响

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maoym
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发表于：2019/09/09 13:28:19 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
硅烷气体中的氯化物对硅烷有什么影响
推荐答案：小卡回复于2024/09/19
它们会对硅烷产生不少不良影响。一方面，氯化物可能会与硅烷发生反应，降低硅烷的纯度和稳定性。另一方面，在一些工艺过程中，氯化物可能会导致设备腐蚀，增加维护成本，还可能影响最终产品的质量。所以，要尽量减少硅烷气体中的氯化物含量
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2024/9/19 9:48:28 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
它们会对硅烷产生不少不良影响。一方面，氯化物可能会与硅烷发生反应，降低硅烷的纯度和稳定性。另一方面，在一些工艺过程中，氯化物可能会导致设备腐蚀，增加维护成本，还可能影响最终产品的质量。所以，要尽量减少硅烷气体中的氯化物含量
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