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原文由myoldid(v2963297)发表:前级泵真空没抽上去,就会出现涡轮泵转速上不去的情况,时间一长会自动停泵。你只维护过离子源,那很可能是侧板,放空阀,传输线接口有泄露,再重新检查一下这三个地方吧。进样口漏气转速是上的去的,暂时可以不管。