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主题：【原创】安捷伦气质调谐

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发表于：2024/07/12 12:52:20 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
5973抽真空后调谐发现以下现象：0.25的毛细柱，设置1毫升每分钟，不分流的情况下漏气，氮气430%左右，氮氧比1:3左右，且流量稳不住，加上隔垫吹扫3毫升每分钟，在3.5到4之间摆动，但柱头压很稳，分流哪怕只开0.5的比率，流量稳的住，且氮氧立马下去了，氮气到25%。想请问各位老师，是epc 有问题，还是分流平板那有问题，用的是不分流的衬管
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安平
byron1111
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2024/7/17 9:29:31 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能epc有问题，建议报修一下为好。


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