主题:【原创】安捷伦气质调谐

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Insm_6294e6ef
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5973抽真空后调谐发现以下现象:0.25的毛细柱,设置1毫升每分钟,不分流的情况下漏气,氮气430%左右,氮氧比1:3左右,且流量稳不住,加上隔垫吹扫3毫升每分钟,在3.5到4之间摆动,但柱头压很稳,分流哪怕只开0.5的比率,流量稳的住,且氮氧立马下去了,氮气到25%。想请问各位老师,是epc 有问题,还是分流平板那有问题,用的是不分流的衬管
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安平
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