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主题：【分享】涡轮分子泵运转时需要注意的问题6

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lijing320323
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发表于：2022/09/20 21:55:10 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
(4)怎样充气

　　如果涡轮分子泵置于一个清洁、干燥的周围环境中，就可以充室内的空气。然而充气入口的位置必须仔细选择。如果充气入口位置靠近油封式旋片泵的排气口位置之上，则充入的气体中会含有油蒸汽势必会对真空系统造成污染，而且如果空气是湿的，为了减少以后再抽气的时间，于是要充入干燥氮气或经过干燥器过滤的空气。另外也不一定总是充入大气压力下的气体，若充入气体的压力为几Torr（几hpa）的干燥气体就足以能控制碳氢化合物的返流。

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