主题：【求助】如何理解EDAX的计算结果

原文由 lijingcow 发表:
EDS谱线如附件中所示，图中Ga峰远远强于Al峰，但是EDAX Genesis软件计算出来的Ga质量百分比小于Al的。请问如何理解这一数据？谢谢！

EDAX ZAF Quantification (Standardless)

Element Normalized

SEC Table : Default

Elem    Wt %  At % K-Ratio    Z      A      F

-------------------------------------------------------------

  AlK  68.51  85.12  0.1516  1.0202  0.2169  1.0000

  TiK    0.28  0.20  0.0011  0.9715  0.3707  1.0406

  GaK  30.19  14.51  0.2906  0.9502  1.0132  1.0000

  PtL    0.00  0.00  0.0000  0.9465  2.3803  1.0000

  AuL    1.02  0.17  0.0238  0.9519  2.4453  1.0000

Total  100.00 100.00


Element  Net Inte.  Backgrd  Inte. Error  P/B

-------------------------------------------------

AlK      79.56      14.90      2.34      5.34

TiK      1.94      8.26    39.51      0.23

GaK    778.83      5.78      0.64    134.65

PtL      0.00      5.40      0.00      0.00

AuL      12.04      5.15      7.00      2.34


Label :

Acquisition Time  : 17:44:00
kV: 200.00  Tilt: 15.00  Take-off: 32.38  AmpT: 50.0Det Type:SUTW, Sapphire  Res: 136.30  Lsec: 31

原文由 lijingcow 发表:
我的样品是在GaN（2.5um）上沉积了多层金属薄膜（Ti/Al/Pt/Au，每层膜厚不超过100nm），EDS测量方式为在每层膜内打点。请问用ZAF方法计算薄膜样品中的Al元素，误差会不会较大？因为ZAF计算结果表明，Pt、Au层中Al的原子百分比超过了90%，而我的样品没有进行过热处理，Al原子的扩散不会很严重。数据让我费解。请高人指点，谢谢

原文由 sunnystone 发表:
edax等多是用做定性分析的吧，做定量不一定准