实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8024168今日发帖：147 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
ICP-MS
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【已应助】求助，Angilent7900有机进样系统测试半导体有机溶剂的Si和B怎么降低背景

浏览0 回复4 电梯直达
Insm_4d39d866
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2023/09/18 13:57:43 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
半导体有机溶剂里的Si和B怎么降低背景，难道真的要用串联质谱才能测50ppt级别，用的氩氧混合，用的标准加入法测的IPA，但背景上万的CPS，100ppt才200的CPS，咨询工程师说做不了那么低，感觉现在Angilent的应用越来越不行了，回答的很多问题都是很模糊的，
1、进样系统是否要选择耐氢氟酸的，我的标准溶液10ppm含有0.2%HF
2、用的试剂也在进行排查，试剂有没有推荐的品牌，一直走同一个样品，CPS结果一直在下降，冲完后第二天再开机，又变得很高。如果是试剂的问题，应该会稳定在一个理论值。
推荐答案：光哥回复于2023/09/19
B的应该是可以达到，NG模式就行了。但50ppt这个浓度应该更多的是取决于环境、试剂、器皿的影响——之前有位朋友做多晶硅的时候，检查了所有的可能的因素，最后换了FFU才把本底洗到合适的程度。
有机样品里面的Si，估计不容易做到50ppt，毕竟有机样品的功率一般都得900w左右。
对了，有机样品里面的B要做到50ppt，只怕也不太容易，C12对B11可能会有一些影响（这点是猜测的）
说说自己以前做过的：
Cool Plasma，45amu（SiOH），曲线最低点曾经拉过20还是50ppt，时间久远，有点忘了。但这个是在600w，标准溶液的，不是有机物样品。
为您推荐
近期热榜
热门活动
专属顾问快速对接
获取验证码
立即提交
光哥
xsh1234567
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2023/9/19 15:46:20 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
B的应该是可以达到，NG模式就行了。但50ppt这个浓度应该更多的是取决于环境、试剂、器皿的影响——之前有位朋友做多晶硅的时候，检查了所有的可能的因素，最后换了FFU才把本底洗到合适的程度。
有机样品里面的Si，估计不容易做到50ppt，毕竟有机样品的功率一般都得900w左右。
对了，有机样品里面的B要做到50ppt，只怕也不太容易，C12对B11可能会有一些影响（这点是猜测的）
说说自己以前做过的：
Cool Plasma，45amu（SiOH），曲线最低点曾经拉过20还是50ppt，时间久远，有点忘了。但这个是在600w，标准溶液的，不是有机物样品。
赞贴
2
收藏
0
拍砖
0
举报
好想带你去蹦极啊
v3037698
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2023/9/20 8:20:31 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
B用8900的NG模式可以达到50ppt以下的级别，用冷焰模式效果也不好。我们最近也是在验证降低B背景的问题。
赞贴
1
收藏
0
拍砖
0
举报
jerry
Insm_1d6f3df3
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2023/11/25 6:46:50 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有机溶剂里si串接的ms也不容易做到50ppt
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
Insm_1e5a543b
Insm_1e5a543b
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2024/4/5 15:50:05 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有机溶剂里B用nogas，试剂干净的情况下可以做到10ppt以下，89半导体配置
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
猜你喜欢 最新推荐 热门推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁