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主题：【原创】求助气质流量为0见图

浏览0 回复6 电梯直达
Ins_b5d6bd0b
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发表于：2023/10/13 10:39:39 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
岛津气质，只有主压力正常，其他为0。求助怎么排查问题，谢谢
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2023/10/13 15:38:46 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
图片呢？有图才有真相！
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安平
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2023/10/13 16:14:11 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
详细说明具体情况为好。。

有图为好
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安平
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2023/10/13 16:14:52 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以检查一下是否泄漏，或进样口气体开关是否未开启
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Ins_b5d6bd0b
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2023/10/14 8:54:10 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
忘记发图了，/哭，昨天排查了一下，好像是载气的那个EPC板上的电磁阀不工作还是怎么样，因为拆出来那块板本身是通气无阻的
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安平
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2023/10/16 6:59:57 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
该进样口是否已经配置到流路中？

仪器flow灯，是否点亮？


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检测人王大锤
mitsumi
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2023/10/17 8:51:42 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你是不是还没抽真空啊？
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