主题:【求助】EDS的分析区域有多大?

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satellite_add
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最近打了张EDX,我想说明在一个颗粒里有两种金属。但是有人说这不能证明。因为有可能EDX打得区域里有不止一个粒子。
我想知道到底EDX能打多小的一块区域呢?
谢谢。
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imrwb
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原文由 satellite_add 发表:

最近打了张EDX,我想说明在一个颗粒里有两种金属。但是有人说这不能证明。因为有可能EDX打得区域里有不止一个粒子。
我想知道到底EDX能打多小的一块区域呢?
谢谢。

EDX的所采集信号的区域和你的束斑达到样品上的尺度有关系,一般可以简单地说成是空间分辨率,在纳米束下会得到更为精确的位置成分分析。
sunnystone
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tem_abc
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