主题:我想请教一下:能量色散谱是用那种仪器测得?与光电子能谱是否一样?分别能进行那种分析?

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sannyzhang
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我想请教一下:能量色散谱是用那种仪器测得?与光电子能谱是否一样?分别能进行那种分析?
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刘老师
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是指X射线能谱吗?好像和电镜配合使用得较多,用于微观区域的元素分析。
zhoutf
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EDX 是与电镜联用的,主要是做成分分析,XPS的主要做化学成分和价态分析,EDX和XPS的纵向分辨率不同,XPS的高
shxie
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EDX主要和电镜联用,能分析微区样品,比较直观。但不能分析价态。XPS的分析主要在于价态,另外XPS的分析元素范围要广。EDX的一般在B-U之间。
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