主题:求助:ICP-MS(热电POEMSIII)三级真空降不下去

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liming1982
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ICP-MS(热电POEMSIII)三级真空抽至1E-5Tor后便会反弹,压力回升,估计为漏气,但检查门阀、真空规,尚未找到漏气点。
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liming1982
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zsdzsdzsd
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偶认为原因有很多,因为影响真空的条件有很多,问问THERMO的工程师,不行就叫他们上门.
lidonglei
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