國立清華大學 材料科學與工程系
黃光製程實驗室一般規則
1. 黃光製程實驗室範圍(截至8/01/2004為止)包含:
工程四館 116 室:黃光製程實驗室,本實驗室為10000等級之潔淨室,現有設備包含
1. 光罩對準曝光機1部
2. 曝光箱1部
3. 光阻旋塗機2部
4. 光阻烘烤箱1部
5. 光阻烘烤熱板1部
6. 光學顯微鏡1部
7. 化學通風櫥含RO逆滲透水系統1座
以下稱”黃光製程實驗室”為”本實驗室”。
2. 黃光製程製程實驗室負責教授: 廖建能 教授。
3. 儀器使用人員規範:
3-1. 儀器使用人員分成3級:
(1) 超級使用者(superuser)
(2) 合格使用者(user)
(3) 見習生(student)
3-2. 只有超級使用者與合格使用者可自由使用本實驗室之儀器、設備及耗材。儀器、設備及耗材之使用僅限於負責教授所認可之相關計劃或課程,不得使用於未經核可之不相關之計劃及製程。儀器、設備及耗材除負責教授所認可之外不得隨意攜出實驗室之外以為他用。
3-3 合格使用者需經二階段考核:第一階段為實驗室安全規則及微影製程技術知識測驗;第二階段為機台操作資格認定,由超級使用者負責考核。
3-4 見習生欲使用儀器者須有合格使用者(user以上)陪同。
3-5 各儀器之合格使用者名冊置於各儀器旁。
3-6 外來之儀器維修及裝配人員進入本實驗室之前必須報備負責教授並由本實驗室人員陪同。
3-7 非本實驗室核可進入之人員如欲參觀實驗室,請向負責教授報備核可後,由教授指定專人陪同參觀,不得隨意自行攜入參觀。
4. 各儀器之操作程序置於各儀器旁,務必依照操作程序使用儀器,除非經相關之超級使用者共同同意,否者不得私自更改操作程序,違者暫停使用該儀器。
5. 儀器旁若置有使用登記簿,使用該儀器時須填寫使用人員姓名、時間及儀器使用狀況,若有問題請尋求各儀器之負責人協助解決。
6. 未經考核通過,不得擅自進入黃光室與操作任何儀器,須由合格使用者陪同方得進入及使用藥品與儀器。
7. 使用實驗室者不得穿拖鞋、短褲進入黃光室,並請著乾淨襪子。
8. 私人物品,如手提袋、書本、衣物等須放置在走廊置物櫃,不得帶入黃光室。
9. 進入黃光室之人員應換穿無塵衣帽及鞋子,頭罩和腳套使用七次後方得更換。
10. 黃光室內不得飲食嘻鬧或從事與實驗無關之活動。
11. 人員出入實驗室須按規定於材料實驗館306室登記出入時間。
12. 使用完畢之藥品、玻璃或塑膠器皿、晶片夾務必歸回原位或作適當處理,離開實驗室之前應將操作過之儀器、設備及周圍環境清理乾淨。所使用之器皿如有損壞或藥品潑出需立即報備負責人員或教授以即時處理。
13. 若發現化學藥品存量僅餘1/3時,請通報化學藥品負責人員‧
14. 為維護黃光室的潔淨度請遵守下列規範:
(1) 在黃光室中不得使用鉛筆等會產生顆粒的物品。
(2) 在黃光室中建議使用無塵紙製的相關產品。
(3) 吸煙後3小時才可以進入黃光室。
(4) 非本實驗室所提供及認可之化學藥品、原件、及製程,攜入或使用前請先與負責老師討論。
(5) 儀器、設備使用前請先用異丙醇(IPA)擦拭乾淨。
(6) 手機及呼叫器請置於更衣間,禁止攜入黃光室。對外聯絡請用室內電話或電腦email 系統。
15. 進入黃光室前請將口罩、無塵衣、腳套、無塵鞋、頭套及手套依序穿著,再反覆踩踏腳黏踏墊數次才可進入。
16. 離開黃光室需將無塵衣鞋放置在適當衣櫃中。
17. 加熱時需有人員在場,如需長時間加熱請在該儀器旁標示使用人員姓名與聯絡方式。
18. 若有違反並且不遵從助教之規範,報請授課教授處理之。
備註:
1. 進入黃光室前請先確認下列事項:
(工程四館116 室):
(1) 確認電箱中的冷氣、FFU及110V電 在ON狀態。(0-2 級)
2. 嚴禁攜帶任何化學藥品入內,例如:酸類與鹼類.
3. 離開黃光室前請先確認工程四館116 室電箱中的FFU在OFF狀態。(0-2 級)
黃光製程實驗室安全工作守則
一般安全手則
1. 防護衣著、手套、面罩、護目鏡等均應按作業規定配戴。(0-4 級)
2. 處理或使用酸鹼液、氣體、氧化劑和溶劑均應在有抽氣之工作台上進行。(1-3 級)
3. 未經考核通過,不得擅自進入化學室與操作任何儀器,須由合格使用者陪同方得進入及使用藥品與儀器。(1-4 級)
4. 杯內有化學藥品應予標示,不可隨意放置,以免傷人。(0-3 級)
5. 禁用燒杯飲食,以免誤食化學藥品,冰箱中嚴禁存放食物。(1-4 級)
6. 在化學通風櫥進行有機及酸鹼作業時,檔板應下壓並抽氣及配戴安全護具,隨時保持檯面清潔。(0-2 級)
7. 實驗使用後之儀器、盛裝器皿等應洗淨晾乾後放回原處。(0-3 級)
8. 實驗作業中,絕不可無人照料,必須離開時,應請人代為照料。(0-2 級)
9. 使用過之濾紙、無塵紙等消耗性材料應予以丟棄,保持工作環境之清潔。(0-2 級)
10. 工作人員應熟知葡萄酸鈣﹑沖洗器及滅火器等安全器材存放位置及使用方法,並熟悉逃生路線的位置及意外事故處理程序。(1-4 級)
11. 請勿配戴隱形眼鏡,以防實驗中產生的氣體與隱形眼鏡發生不可測的反應,而傷害眼睛。(1-3 級)
化學品使用安全手則
1. 不小心皮膚沾到一般酸鹼類時,應立即用大量清水沖洗。 (1-4 級)
2. 丙酮應用玻璃或鐵氟龍燒杯,忌用塑膠製品。(0-2 級)
3. 大瓶光阻用後請收藏在冰箱中。(0-1 級)
4. 各種化學藥品存放均應有內容說明及危險性警告。(0-2 級)
5. 化學藥品及材料開罐使用後,請在瓶上標明開罐日期。(0-2 級)
6. 要使用它種化學藥品時,請先提出並備有物質安全資料表(MSDS)。(0-2 級)
7. 勿將氮氣直接吹向人員,以免造成人員缺氧窒息。(1-4 級)
廢液處理手則
1. 廢液管理分為下列數種:
(1) 顯影液廢液(AZ400MIF, FH-D5, AZ400K的廢液)
(2) 有機溶劑(丙酮、異丙醇等)
2. 酸鹼類及有機溶劑用完後,若不再用,須分別倒入廢酸、廢鹼和廢有機溶劑處理桶中。(1-4 級)
3. 廢液桶滿了請通知管理人員處理。(0-2 級)
4. 煮過之熱試劑(酸、鹼或有機溶劑)須待其冷卻後再倒入指定之收集容器。(1-4 級)
5. 瓶罐中的化學品用完後,請以自來水清洗瓶罐3次,並標示”已清洗”;實驗室人員若發現未標示”已清洗”的空罐,不論是否有清洗,一律清洗後再標示”已清洗”。 (0-2 級)
有機溶劑應注意事項
1. 有機溶劑可使人發生:
(1)頭痛 (2)疲倦感 (3)目眩 (4)貧血 (5)肝臟障害等不良影響,應謹慎處理。
2. 有機溶劑皆具毒性,勿輕易吸入,亦勿觸及皮膚,否則有機溶劑由皮膚滲入血液中,會對肝臟造成傷害。(0-2 級)
3. 有機溶劑的容器,不論是否在使用中或不使用,都應隨手蓋緊。(0-2 級)
4. 儘可能在上風位置工作,以避免吸入有機溶劑之蒸氣。(0-2 級)
5. 如果發生急性中毒時:(0-2 級)
(1) 立即將中毒者移到空氣流通的地方,放低頭部使其側臥或仰臥並保持他的體溫。
(2) 立即通知緊急救援單位,緊急聯絡電話貼於電話旁。
(3) 如果中毒者失去知覺時,應立即將嘴中東西取出。
(4) 如果中毒者停止呼吸時,應立即替他施行人工呼吸。
黃光製程實驗室罰則
1. 違反黃光製程實驗室之相關規定者,第一次將給予警告,第二次以上將依情節之輕重施以以下之處分:
1-1. 第零級: 吊扣執照一星期。
1-2. 第一級: 吊扣執照兩星期。
1-3. 第二級: 吊扣執照1-2個月。
1-4. 第三級: 吊扣執照2-6個月。
1-5. 第四級: 永久吊銷使用許可,不得再進入本實驗室。
2. 負責之教授有處分之裁量及決定權並有權決定是否公佈被處分者之姓名及事蹟。
3. 本罰責將因實際之狀況隨時修訂,修訂之結果將公佈於黃光製程實驗室外。