多谢了,只是奇怪有了condenser aperture 为什么还多此一举加个spot size呢
quote]原文由
TEM_ABC 发表:
原文由 mavericben 发表:
看起来spot size 1, 光最强,spot size 5 最弱。好像作用跟光阑类似。想知道他们的物理位置和机理。
为什么高分辨率要在spot size 3 以上运作?
另外,变化放大率的时候亮度会怎么变化,和轴会变化么
谢谢 JEO 1230
spot size(束斑)改变的是第一聚光镜的设置,其效果决定电子束多大部分可以通过下面的聚光镜光阑。当spot size 1 时,大部分可以通过光阑,电子束流高,但由于聚光镜球差的作用,最小的聚焦光斑仍很大;在spot size 5(飞利浦电镜的spot size 11)时, 小部分电子通过光阑,电子束流低,但聚焦光斑尺寸小。
高分辨使用较小的束斑是为了更好的相干性。大的束斑意味着电子束发散角大(空间相干性差),电子束流高也意味着电子的相互作用强(能量相干性差)。但光斑太小光强又不够,中等尺寸的光斑是两者妥协的结果。偏压的设置也可类比。不过在场发射电镜上,由于相干性很高,你可以用最大的束斑做高分辨。
只要对中合适,spot size改变时不应该有较大的位置变化。亮度与放大倍数无关。你可以做一简单的实验:只要光束小于荧光板,测量的曝光时间不会随放大倍数有变化。