实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8092832今日发帖：152 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
其他仪器综合讨论
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【求助】等离子刻蚀参数对实验结果的影响

浏览0 回复1 电梯直达
haidai
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2008/12/18 10:07:46 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位做过等离子刻蚀的同行们：
    我是一个新手，在刻蚀聚苯乙烯小球的时候自己设置了几个参数，但是具体每个参数对实验结果的影响还不是很清楚，先列出来Icp（w）；RF（w）；Pressure（mT）等。希望大家给予指点，不胜感激
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 气相色谱仪(GC) 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
可能感兴趣
wccd1
wccd1
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2015/9/16 8:14:51 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
总功率、射频发射功率、压力三个参数。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： 【求助】等离子刻蚀参数对实验结果的影响
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁