原文由 wish36 发表:
请教楼上:正如你所说,我也发现调节束斑的时候会影响到电流强度,提高束斑电流之后亮度降低了,这是为什么呢?另外,每次提高束斑电流时,屏幕上的像就会向着右上方移动,且出现失焦,要重新调视野和对焦。这是什么原因呢?
不敢谈请教,大家共同进步;
提高束斑,电子束的直径变小,打在样品上的电子束的电流相应的减小;
这是因为增加束斑值,增加了第一级透镜的汇聚能力,相应的电子束在经过两级透镜汇聚之后,打在末级光栏上的角度变大(电子束的发射角变大,但是光栏的尺寸不变,即通过末级光栏的电流变小)打个手电筒的比方,用手电筒的光照射到一个大小不变的孔洞,如果光束的发射角变大(光斑变大),那么能够射进孔洞的光就会相应的变少;这样我们可以能够理解图像变暗的原因了;
因为调节Spotsize是改变了第一级透镜的聚焦能力,相应的各级别的透镜的焦点也发生改变,所以改变spotsize的同时需要再次聚焦是正常现象;
图像视野发生漂移通常是因为电子光学不对中(各级透镜及光栏不对中造成的);
首先考虑末级光栏(物镜光栏)不对中导致的。
其次可能是透镜对中问题。
就想到这么多其他的还要请大侠们补充。