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ID:frank982
行业:其他
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ID:nps
原文由 frank982 发表:同样的硅片,处理后测试结果会相差几十ppb,折算后大概相差4个ppm,同样SIMS测试结果就很稳定?请问各位这是什么原因呢?还有想问下各位,要求得到硅片整体纯度,哪种处理方法更好一些?
原文由 frank982 发表:硅片基体的杂质,分析纯度用的哦。环境为千级净化间,验收过了。前清洗是别人做的,不知道是否对清洗硅片用试剂有何要求?GR试剂清洗后用超纯水浸泡过夜可以么
ID:zhckj