主题:【求助】仪器维护窗口听到气体声音

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envirend
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    前一段时间更换了气体和减压阀,今天氩气吹扫时候发现:维护窗口听到气体声音,不管开那一路气体(等离子气体、载气、辅助气、稀释气体),都能听到气体声音。大家遇见过这种情况吗?如何处理?

  另外在氩气吹扫窗口关闭后,氩气减压阀超出量程而报警。
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是不是漏气了,压力正常否?
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Sample Introduction 时,勾选气路,肯定能听到气体流动声音啊。难道气体声音很大?

“氩气减压阀超出量程而报警” ——双表头的氩气减压阀(俗称压力表)咋个报警?
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Sample Introduction 时,勾选气路,肯定能听到气体流动声音啊。难道气体声音很大?

“氩气减压阀超出量程而报警” ——双表头的氩气减压阀(俗称压力表)咋个报警?


一般这个声音很小,且短促,氦气阀打开的时候也有声音,不过声音也不大!

增压是不是太大了!
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光哥
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    前一段时间更换了气体和减压阀,今天氩气吹扫时候发现:维护窗口听到气体声音,不管开那一路气体(等离子气体、载气、辅助气、稀释气体),都能听到气体声音。大家遇见过这种情况吗?如何处理?

打开各路氩气吹扫,声音立马来了;打开冷水,冷水声音立马小了。

  另外在氩气吹扫窗口关闭后,氩气减压阀超出量程而报警。


是不是增压阀开高了?机子在使用氩气前后,气路当中的压力不一样的。应当是以开启气体使用后表头的压力在650左右的为准吧?
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是不是漏气了,压力正常否?


肯定是漏气
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Sample Introduction 时,勾选气路,肯定能听到气体流动声音啊。难道气体声音很大?

“氩气减压阀超出量程而报警” ——双表头的氩气减压阀(俗称压力表)咋个报警?


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声音很大;氩气减压阀超量程而报警:正常情况下,氩气吹扫界面关闭后不出现此情况--现在发现为仪器里面的那根蓝色管路掉啦,让我查查看我什么地方插。
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2012/12/31 16:25:40 Last edit by envirend
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现在发现仪器后面的那根蓝色管路掉啦,让我查查看,往什么地方插。


7700x背面没有蓝色气体管路啊。

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现在发现仪器后面的那根蓝色管路掉啦,让我查查看,往什么地方插。


我没有表述清楚,把仪器的侧面和顶盖打开后,会发现有蓝管路、有三通。现在那根蓝色管路已经接通。

7700x背面没有蓝色气体管路啊。

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2012/12/31 16:26:14 Last edit by envirend
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我没有表述清楚,把仪器的侧面和顶盖打开后,会发现有蓝管路、有三通。现在那根蓝色管路已经接通。


你说的是射频发生器旁的蓝色管路吧?

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你说的是射频发生器旁的蓝色管路吧?

是的,谢谢。本来想加分,无奈变成了往年的帖子。
新年快乐。
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