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透射电镜（TEM）

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主题：【讨论】磁透镜和静电透镜的优势和劣势

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发表于：2009/04/12 10:53:27 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

还是读那本Egerton的PPEM，书中提到了静电透镜和磁透镜的特点，其中静电透镜是这样的：
1. 无像转角
2. 比较轻，consumes no power
3. 对电压的稳定性要求不高
4. 容易聚焦离子束

磁透镜是：
1. 低透镜像差
2. 不需要高压激励
3. 可以做浸入式透镜

我有几个疑问：
1. consumes no power指的是什么？静电透镜不需要专门的动力？
2. 磁透镜的那个浸入式透镜，是不是说的是样品处于透镜内部中心轴，这样磁场比较均匀吧，而静电式透镜如果这么操作，如果放入导电样品，会引起电场的扭曲？
3. （我自己加的）高加速电压时，容易击穿静电透镜。那么是不是扫描电镜比较适合采用静电透镜，而FIB更是因为聚焦离子束的原因，一般采用静电式透镜呢？

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2009/4/12 10:54:37 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

那么磁透镜的劣势，是不是仅仅需要高稳定性的电压和电流，而这点在现在很容易解决？

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iamikaruk

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2009/4/12 11:32:09 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我的理解是静电透镜是个耐受高压电容器，只要加电压就成了。除非有空间电荷，也就是用于成像的时候会消耗能量，平时加着高压透镜是不消耗能量的。而磁透镜保持工作需要一直通电流，所以透镜要消耗能量。
浸入式我觉得可能是考虑到介电材料会在静电透镜作用下产生极化的问题。
静电透镜和磁透镜有适用范围，对于低压电子束用静电透镜比较好，可能考虑的是你前面所说的那些优点。而对高压电子束，静电透镜的会聚能力将大打折扣，相反磁透镜则受影响比较小，因此现在多是低压静电透镜，高压磁透镜的设计。记得Rose,Riemer,Egerton他们有专门的论述

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2009/4/12 19:45:18 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 iamikaruk 发表:
我的理解是静电透镜是个耐受高压电容器，只要加电压就成了。除非有空间电荷，也就是用于成像的时候会消耗能量，平时加着高压透镜是不消耗能量的。而磁透镜保持工作需要一直通电流，所以透镜要消耗能量。
浸入式我觉得可能是考虑到介电材料会在静电透镜作用下产生极化的问题。
静电透镜和磁透镜有适用范围，对于低压电子束用静电透镜比较好，可能考虑的是你前面所说的那些优点。而对高压电子束，静电透镜的会聚能力将大打折扣，相反磁透镜则受影响比较小，因此现在多是低压静电透镜，高压磁透镜的设计。记得Rose,Riemer,Egerton他们有专门的论述

嗯，终于明白不需要power的含义了，多谢！

至于静电透镜，不知道SEM上20-30 kV的电压会不会用静电透镜，而且现在很多电镜倾向于低电压操作的。FIB按说更应该用静电透镜，我还得再问问一些老师才行。

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