主题：【求助】透射电镜附带的能谱成分分析准确度，分析深度？

原文由 zhiluxinwu 发表:
各位前辈：

      请教一问题：HRTEM-EDS得到的成分数据，分析深度大概在多少？不同地方测得的数据做了一个统计，并取平均数，结论和XRD结果不一样？请教大侠EDS的准确度到底有多高？

      谢谢

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各位前辈：

      请教一问题：HRTEM-EDS得到的成分数据，分析深度大概在多少？不同地方测得的数据做了一个统计，并取平均数，结论和XRD结果不一样？请教大侠EDS的准确度到底有多高？

      谢谢

原文由 shxie 发表:

原文由 zhiluxinwu 发表:
各位前辈：

      请教一问题：HRTEM-EDS得到的成分数据，分析深度大概在多少？不同地方测得的数据做了一个统计，并取平均数，结论和XRD结果不一样？请教大侠EDS的准确度到底有多高？

      谢谢

比扫描的EDS要差不少，最多半定量了，只能给你一个参考值。

原文由 zhiluxinwu 发表:
各位前辈：

      请教一问题：HRTEM-EDS得到的成分数据，分析深度大概在多少？不同地方测得的数据做了一个统计，并取平均数，结论和XRD结果不一样？请教大侠EDS的准确度到底有多高？

      谢谢

原文由 zhiluxinwu 发表:


首先感谢大侠回答：

XRD物相分析结果和EDS成分分析出（两个不同部分结果）的物相不一样。透射电镜是能穿透整个样品，所附带的能谱仪光斑较小，能穿透整个样品吗？只微区测量

二者差异又存在哪些其他的可能性？谢谢

原文由 liveorevil 发表:

原文由 zhiluxinwu 发表:


首先感谢大侠回答：

XRD物相分析结果和EDS成分分析出（两个不同部分结果）的物相不一样。透射电镜是能穿透整个样品，所附带的能谱仪光斑较小，能穿透整个样品吗？只微区测量

二者差异又存在哪些其他的可能性？谢谢

宏观的分析得到的是平均信息 这一点XRD和ICP是类似的 EDS只得到微区信息 而且受制于信号强度之类的因素使其信噪比不能像定量分析那么准确 再加上样品本身的不均匀性 得到不太一样的结果很正常。
比如说XRD只得到晶化部分的信息 但EDS不会管晶化还是非晶化 只要电子照在上面出现特征X射线就会被检测到~