实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8041727今日发帖：244 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
物性测试综合讨论
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【求助】(ok)硅晶圆片表面平整度和翘曲度的测量？

浏览0 回复3 电梯直达
antill
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2009/08/20 10:11:13 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问下硅晶圆片的表面平整度和翘曲度能不能用三坐标尺进行测量，谢谢！另外，晶圆片的厚度用千分尺的话怎么测量圆片中心位置，谢谢！！
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 气相色谱仪(GC) 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
可能感兴趣
大陆
handsomeland
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2009/8/20 14:33:21 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1、三坐标尺可以测，但精度不高，也很难为人所承认，因为硅片的翘曲度非常小。能让人认可的方法大多借助精密光学测量。
2、硅片中心厚度测量需要使用特别的千分尺，普通千分尺太小，你也可以自己将普通千分尺改造成能测中心厚度的千分尺。当然通用的精密厚度测量方法依然是光学方法--用光学延迟测量厚度。

btw:如果你对半导体还没有完全入门的话，再次提醒你仔细阅读我在这个帖子里的给你的参考书：
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20080904/1462889/

其中第一个问题请见2.9.3.2.2节；第二个问题详见2.5节。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
Last edit by handsomeland
antill
antill
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2009/8/20 15:14:16 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
版主，您好！请问您是从事半导体行业的吗？我还有很多问题想找您请教，不知道是否方便？我对半导体确实不大懂，谢谢！
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
大陆
handsomeland
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2009/8/20 17:30:57 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我不是半导体行内的人，抱歉。
--曾经搞过几年封装，不过那是8年前的事情了。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
Last edit by handsomeland
手机版： 【求助】(ok)硅晶圆片表面平整度和翘曲度的测量？
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁