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主题：【分享】单晶Si厚度和颜色对照图

浏览0 回复8 电梯直达
蓝莓口香糖
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发表于：2009/08/21 20:08:57 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
以前用过一张Gatan凹坑仪配的单晶硅厚度和颜色的示意图，做截面样品的时候很有用。现在找不到了，跟Gatan联系也没有回音。于是自己根据记忆画了一张，跟原图误差应该不大，需要的同学可以拿去试用一下。图上标注的绝对厚度其实不重要，有些偏差也没关系。这张图最有用的是通过几次实验之后找到最适合自己样品的颜色，控制好离子减薄时间，提高制样成功率和效率。
需要注意，颜色跟能带宽度关系很大。这张图只适用于纯净或普通掺杂的单晶硅基底，能带间隙1.1eV左右。对于TiN也能用，颜色略有变化。Ge和GaN的能带间隙分别是0.66eV和3.5eV，这张图完全失效。
另外，光源也很重要。在冷光源照明的显微镜下看不到这么明显的颜色变化，需要用白炽灯或者卤素灯作光源才行。



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2009/8/21 20:16:30 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
自己动手画出这样的图，显见蓝莓一定是个薄膜TEM制样高手！
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linshiafeng
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2009/8/23 9:34:01 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最近做Si基底薄膜界面样品做到崩溃啊，老师讲过，在凹坑仪中看到透光才算好。可我怎么总是看不到，再过两下就磨没了。不知道各位用的什么研磨膏，我用2.5微米金刚石研磨膏是不是太粗了。
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蓝莓口香糖
drizzlemiao
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2009/8/23 18:27:42 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
抛光要用1微米的。
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iamikaruk
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2009/8/23 20:05:19 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
版主做的图片真漂亮，赞！学习一下了
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refe971
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2009/8/28 9:51:44 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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longwood
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2009/8/28 21:39:24 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
版主要不再来个模拟？估计就可以发一篇文章了。
不知道类似的工作在光学方面如何？算不算小case?
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蓝莓口香糖
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2009/8/28 22:15:11 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大家太高抬我了。
这个不算什么，既不深奥，也不是创新。我只是以前用过，照葫芦画葫芦罢了，连照葫芦画瓢都算不上。呵呵
用颜色判断样品厚度的做法很早就有，我粗略查过一些文献，大家的结果有一定差别，我觉得可能是因为实验条件不完全一样。但是这种差别对于制样来说并不重要，只要始终使用同一套标准就能得到自洽的参数了。
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ysuren
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2011/10/21 15:15:16 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
zhichilouzhu,ganxie
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手机版： 【分享】单晶Si厚度和颜色对照图
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