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透射电镜（TEM）
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主题：【原创】用于透射电镜观察的薄膜表面样品制备

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TEM
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发表于：2018/12/01 09:23:59 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
薄膜样品以及观察方向
如上图所示，要观察外延膜的表面结构，要怎么制样？
方案1：手磨衬底一面，比较薄之后钉薄，钉到比较薄之后离子减薄（耗时）
方案2：FIB，只减薄衬底一面，最后得到的样品含衬底
方案3：显微镜下敲碎，找膜露出来的地方用于观察
请问还有更好的方案吗？
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2018/12/1 15:42:32 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
玻璃用酸溶解，然后用铜网
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m3002960
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2018/12/2 9:49:19 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
根据我们这的做法，其实离子减薄毕竟简单便宜，用691或者695也要不了多久??
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Insm_76cfd4c7
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2018/12/2 11:36:20 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 m3002960(m3002960) 发表:根据我们这的做法，其实离子减薄毕竟简单便宜，用691或者695也要不了多久??
我感觉FIB成功率有可能很低，外延膜要是比较软的话，必须留大量衬底支撑外延膜吧？而且膜很有可能被pt污染吧？而且也很有可能被离子束损伤。我不专业，希望大家多多讨论
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2018/12/2 11:43:45 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小偷爸爸(v3050889) 发表:玻璃用酸溶解，然后用铜网
那就是先切成小块，然后把玻璃腐蚀掉后，用铜网捞起来？您这样做过什么样品？听起来可行又不可行呀？腐蚀完后膜很有可能就碎了。酸里面捞出来得用水冲洗几次，把酸冲掉，这个过程膜很有可能也碎了。不知道这个过程会对外延膜造成什么损伤。但是碎掉的小膜或许也够电镜观察了
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m3033883
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2018/12/3 16:39:35 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
就用离子减薄吧。也不要挖坑了。
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2018/12/3 19:47:22 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 m3033883(m3033883) 发表:
就用离子减薄吧。也不要挖坑了。
磨到什么厚度离子减薄呢
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m3033883
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2018/12/3 20:26:16 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 TEM(Insm_76cfd4c7) 发表: 磨到什么厚度离子减薄呢
一般40到50微米。由于你的膜比较薄。可以考虑先在膜面粘一个铜环。保护膜。
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TEM
Insm_76cfd4c7
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2018/12/5 22:28:51 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 m3033883(m3033883) 发表:一般40到50微米。由于你的膜比较薄。可以考虑先在膜面粘一个铜环。保护膜。
嗯嗯，知道了，感谢
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