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ID:Ins_413e1a60
行业:其他
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ID:m3149125
ID:dahua1981
ID:timstoicpms
ID:v3195919
原文由 timstoicpms(timstoicpms) 发表:我今天也遇到了,报修吧。Ion Gauge Assembly ,货号 G1960-80303
原文由 次元之暗面(v3195919) 发表:这是什么情况啊老师
原文由 timstoicpms(timstoicpms) 发表:待机、测试阶段,离子规不会坏;但是 卸载真空,后续重新加电时,离子规就容易坏。我今天是卸载真空、断电,更换 炬箱X-Y轴步进马达皮带;重新加电时,离子规就“挂了”有维保合同,明天就能收到备件,自己再更换。
原文由 次元之暗面(v3195919) 发表: 我今天是电源坏了,主电源供给RF的回路没有输出,真空-冷却-炬管盒三轴电机供电都正常。还是刚一年的机器,安捷伦的产品力这么差了吗???
ID:Insm_53edbced
原文由 wuyuzegang(dahua1981) 发表:有可能是真空规的问题,也有可能是两块加压板的电路问题。真空规可以自己换但是加压板的问题还是让维修的上门现场检修吧。
ID:v3191793