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ID:v2963297
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ID:zyl3367898
ID:dadgoh
开到100也上不去,看了一下大家的评论,可能就是堵了原文由 myoldid(v2963297) 发表:意思是氢气流量只能到20?那试试将氢气直接开到100,看看能到多少?另外可以拆开EPC,反吹一下管路。特别是电磁阀部分,电磁阀卡住也可能导致流量打不开,可以手动加电或者捅捅它上面是进样口总流量传感器和隔垫吹扫流量传感器后面这个是总流量传感器面
原文由 支点(zhx_fs_ln) 发表:应该是EPC堵了,也基本没法清理,都是直接更换,安捷伦的EPC还是比较娇贵。我以前用6890遇到过同样的事情,据说就是氢气发生器的碱雾除不净腐蚀EPC管路;现在单位的氢气全是钢瓶气。
ID:Ins_8f96a187