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主题：【求助】FE-SEM怎么调节Alignment?

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suntht
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2007/11/12 14:20:00 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电压试过很多种，1.0-7.0V都试过，没有效果。而且在一处调节时间太长的话，边缘就会出现白色，怀疑是电子积聚，没法拍照了。
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磨剪子嘞 锵菜刀
amoslau
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2007/11/12 15:01:00 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
建议找一块标样，先排除样品存在问题的可能性；
聚焦时图像晃动的厉害主要原因是光阑的对中有问题；
至于图像不清可能是多种因素造成的，比如光阑污染，像散，磁透镜过热等都会影响到图像质量；有时间的时候一点一点来排查吧，不行就打电话通知供应商，要破费哦！
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suntht
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2007/11/14 16:55:00 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有人负责定期维护，我只管使用，呵呵。今天好了。估计是设备的问题吧
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seal007
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2007/11/14 17:59:00 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wj198010 发表:
是不是电压偏高造成击穿现象？
试着降低灯丝电压
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zhaoxj0820
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2007/11/15 16:54:00 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 suntht 发表:
图像上下晃动调节Y,左右晃动调节X,那么前后晃动应该怎么调？这个时候对焦效果很差，很难得到清晰的图像。

前后晃动是正常的，只要把左右晃动调好就行了。至于图像对焦不清晰不是Align的问题了。Align只是用于和轴，保证对焦及消像散过程中图像不跑。要想调清图像还要进行消像散，也就是对焦时不再出现图像的拉伸问题。
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zhaoxj0820
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2007/11/15 17:01:00 16楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
补充一下
我们用的是S4800，估计操作应是一样的。
你调Align出现前后晃动后，点击off，将其切换到工作界面，然后对焦。在图像不发生变形的状态下，调节控制板对焦旋钮左侧的两个旋钮，调清图像，然后在调焦，就可以得到较清楚的图像了。
调像散是经验活，做多了就有体会了。
说明书上有标出像散的情况，你可以看一下。
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suntht
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2007/11/17 14:29:00 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我是这么调的，不过有时晃动的太厉害，看不出来上下左右的晃动是不是完全消除了。在工作状态下调x,y图像会跑，甚至变形。这时候就不能完全聚焦，虚影很厉害。
再问一个问题：有时候会出现亮白区域，并且逐渐扩大，这时候没法得到好的图像。我认为是电子积聚造成的，应该怎么消除这种现象呢？
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白水山石
tianzhen
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2007/11/17 15:30:00 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
前后晃动应是对的呀,这一步的操作主要是不让其左右晃吧.样品对聚焦影响很大的,前几天我做了一个金属样品,结果很好.第二天这老哥又送来几个样品说和上次的一样,我就用相同的条件来做,但费了我一上午也没调好,后来一问他才跟我说这次的样品外有包有一层高分子有机物.
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磨剪子嘞 锵菜刀
amoslau
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2007/11/19 10:57:00 19楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 suntht 发表:
我是这么调的，不过有时晃动的太厉害，看不出来上下左右的晃动是不是完全消除了。在工作状态下调x,y图像会跑，甚至变形。这时候就不能完全聚焦，虚影很厉害。
再问一个问题：有时候会出现亮白区域，并且逐渐扩大，这时候没法得到好的图像。我认为是电子积聚造成的，应该怎么消除这种现象呢？


1、镀金属膜；
2、低电压；
3、低真空。
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suntht
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2007/11/19 11:31:00 20楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电压是2KV，很小的。真空度是1e-6或者2e-6，需要降低吗，是不是3e-6好一些呢？试件表面是TEOS和铝，因为要反复操作，所以不能镀金属膜，只能在别的问题上想办法了
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