原文由 2002smile 发表:
我启动抽真空之后,泵是转的,电源应该没问题,但是抽真空进度条没反应,抽一会就报错了。
4、怎么找到电源供给线路阿,SEM主板上的线一堆堆的。我今天把上面的线都拔了重插,还是不行,郁闷。
你好,首先,个人推断您的电镜真空逻辑是由PLC单元自行控制的,它负责从真空规管读取各部件真空度,当达到指定数值后将会启动或关闭相应的泵和阀门;与此同时也会将真空数值传送给计算机软件并等待计算机软件的指令(如PUMP,Vent);因此操作者仅需要在软件上“观察”并“选择指令”。
个人建议您先考虑真空抽不上去的问题:(哪级真空?并确定此真空规的位置)
1、注意是否能够听到正常工作时阀门开启关闭动作声音(气动阀更明显),观察电镜真空电路板上有没有“阀门状态的指示灯”这将更为直观。因为阀门不打开真空是不会变化的。
2、检查真空规是否工作正常,真空规管坏掉了,即便真空达到了要求,PLC也得不到来自真空规管的正确数据;这样一来系统就会报错了。检查规管连接线是否松动,真空规管是否被污染。这个应该重点考虑。
如果操作有困难的话还是要打电话给工程师让他电话指导下操作,或者直接叫他来,要破费咯。hoho
暂时就想到这么多,希望对您有帮助。