主题：【讨论】太阳能级高纯硅中的杂质测量精度数据收集

原文由 jchencs 发表:
我们实验室测量太阳能级高纯硅中的B和P, As以及金属Fe, Al, Ti, Ca, Zn, Mg, Sr等杂质。B和P的测量误差略大于1ppm, As的测量精度很差，误差要大于10ppm, 金属杂质测量误差一般都可以达到1ppm。具体来说，我有一个已知含2ppm B的样品，已反复测量近千遍，所得结果都在1-3ppm之内，但标准偏差的3倍则接近2ppm。我的仪器是Thermo iCAP 6500 Duo. 从网上的资料看，别的厂家的ICP-OES仪器精度可能要好一点，但估计B的测量精度也不会优于1ppm。各位同行能否把所用仪器型号及所能达到的精度拿出来晒一晒？另外，B的测量+/-1ppm的精度已不能满足我们的需要，我们现在准备买一台ICP-MS,不知哪位知道ICP-MS（厂家，型号？）测量硅中杂质B和P的精度是多少？

原文由 风之灵 发表:

原文由 jchencs 发表:
我们实验室测量太阳能级高纯硅中的B和P, As以及金属Fe, Al, Ti, Ca, Zn, Mg, Sr等杂质。B和P的测量误差略大于1ppm, As的测量精度很差，误差要大于10ppm, 金属杂质测量误差一般都可以达到1ppm。具体来说，我有一个已知含2ppm B的样品，已反复测量近千遍，所得结果都在1-3ppm之内，但标准偏差的3倍则接近2ppm。我的仪器是Thermo iCAP 6500 Duo. 从网上的资料看，别的厂家的ICP-OES仪器精度可能要好一点，但估计B的测量精度也不会优于1ppm。各位同行能否把所用仪器型号及所能达到的精度拿出来晒一晒？另外，B的测量+/-1ppm的精度已不能满足我们的需要，我们现在准备买一台ICP-MS,不知哪位知道ICP-MS（厂家，型号？）测量硅中杂质B和P的精度是多少？

看了你的贴子好几遍才明白，你说的精度应该是指灵敏度吧？
你的B 1ppm的灵敏度是指的硅中B的含量吧？按量B的灵敏度应该可以做到更低的，不知道你的称样量是多少？因为B是属于比较灵敏的元素。

不过对于你们这一行的检测来说，一般基本配制都是ICP－OPS + ICP-MS的，单买ICP光谱的比较少。

原文由 风之灵 发表:

看了你的贴子好几遍才明白，你说的精度应该是指灵敏度吧？
你的B 1ppm的灵敏度是指的硅中B的含量吧？按量B的灵敏度应该可以做到更低的，不知道你的称样量是多少？因为B是属于比较灵敏的元素。

不过对于你们这一行的检测来说，一般基本配制都是ICP－OPS + ICP-MS的，单买ICP光谱的比较少。