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主题：【求助】ICP-MS可以测硅片表面金属的含量吗？

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bdtcs2008
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发表于：2008/06/02 16:36:53 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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tcduan
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2008/6/2 20:38:12 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
激光烧蚀或者表面化学浸提
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lizhongxi8
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2008/6/2 21:04:20 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以测定,但要选择适当的样品预处理方法.
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chauchylan
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2008/6/2 21:26:48 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这应属于表面分析的范畴吧....
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kiwi-kids
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2008/6/3 9:47:19 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tcduan 发表:
激光烧蚀或者表面化学浸提


VPD技术好像需要特别的配置
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chauchylan
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2008/6/3 22:22:39 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tcduan 发表:
激光烧蚀或者表面化学浸提


表面化学浸提是指表面化学萃取吗???
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风起云飘舞
zhckj
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2008/6/6 21:19:37 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好像看到过一这样的文章，但是全是英文，很困难的阅读完，发现内容很空洞，没什么实践价值，只是说了一些人所共知的套话。大体上说可以测，具体方案可以咨询仪器厂家 的应用专家。
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kiwi-kids
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2008/6/7 9:47:54 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zhckj 发表:
好像看到过一这样的文章，但是全是英文，很困难的阅读完，发现内容很空洞，没什么实践价值，只是说了一些人所共知的套话。大体上说可以测，具体方案可以咨询仪器厂家 的应用专家。


这个可以参考SEMI的方法，石墨炉原吸或者ICPMS测定硅片表面元素沾污

仪器公司的文献更侧重于如何调整仪器以及具体的实验数据
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nps
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2008/6/9 9:56:21 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zhengxxx 发表:
原文由 zhckj 发表:
好像看到过一这样的文章，但是全是英文，很困难的阅读完，发现内容很空洞，没什么实践价值，只是说了一些人所共知的套话。大体上说可以测，具体方案可以咨询仪器厂家 的应用专家。


这个可以参考SEMI的方法，石墨炉原吸或者ICPMS测定硅片表面元素沾污

仪器公司的文献更侧重于如何调整仪器以及具体的实验数据



是的，SEMI有这么一个标准方法...
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zhangzhoumin
zhangzhoumin
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2008/6/19 8:51:09 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
当然可以了,如果你需要可以和我联系邮箱ZXMLYK@SINA.COM
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nps
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2008/6/28 17:14:41 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
补充下：标准号留下  SEMI MF1724-1104
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