主题:【求助】XPS谱图中关于SiO的峰位,及是否存在SiO?

浏览0 回复13 电梯直达
zuochangyun
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原文由 xcxps 发表:
完全有可能是SiO,Si的氧化态结合能:一价100.15ev,二价100.95ev,三价101.68ev,四价103.2ev.

感谢xcxps的回复,我之前一直由于是不是SiO,主要是因为SiO不稳定,所以样品中比较难以SiO的形式存在。
第二个原因是就像先前我说的那样,根据生成的报告显示,我样品中的氧是稍过量的,如果将该峰定为SiO的Si 2p,则从某种意义上说应该是氧稍不足才对,而我的样品报告显示的是氧过量。
所以我至今没弄清楚它到底是什么。

我后来考虑可能是SiN中的Si 2p(因为我是在空气中做的热氧化),但是宽谱扫描中又没有N的峰,这样一来说它是SiN又很勉强。

至今,我仍在矛盾中……期待…………
zuochangyun
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yuansu123456
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会不会是O的缺陷引起的?你将样品退火处理前后比较看看,一般氧化物都存在O的缺陷,所以都不是严格的化学计量比,还有计算含量时误差也要考虑的
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