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ID:asting
行业:其他
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ID:drizzlemiao
ID:RENXIN
原文由 asting 发表:如题,近日见到一个名词电子束曝光机,与网上查询相关中文资料很少,不知道是否属于电子显微镜,请专家给点指示,谢谢了!
ID:schokolade38
原文由 RENXIN 发表:原文由 asting 发表:如题,近日见到一个名词电子束曝光机,与网上查询相关中文资料很少,不知道是否属于电子显微镜,请专家给点指示,谢谢了!您说的对,这是属于扫描电镜的专项应用,电子镜筒中嵌入了工业级别的高频偏转线圈,就像一架可以控制曝光时间,快门速度和光圈大小的电子束成像系统。多用于半导体行业的光刻。
ID:annelugel
ID:s30kaiyang
ID:bairen828
原文由 schokolade38 发表:原文由 RENXIN 发表:原文由 asting 发表:如题,近日见到一个名词电子束曝光机,与网上查询相关中文资料很少,不知道是否属于电子显微镜,请专家给点指示,谢谢了!您说的对,这是属于扫描电镜的专项应用,电子镜筒中嵌入了工业级别的高频偏转线圈,就像一架可以控制曝光时间,快门速度和光圈大小的电子束成像系统。多用于半导体行业的光刻。可以加装附件后 借鸡下蛋。。。。
ID:srd2009
ID:wildonkey
ID:thb2520
原文由 wildonkey 发表:工业级别的电子束曝光机JEOL做的最好,电压是百KV以上的,穿透力高,曝光速度快,线宽小,效果是基于SEM改装的EBL所达不到的
ID:quanbaogang