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主题：【求助】ICP 气体流量控制问题

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shirley98436
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发表于：2009/02/28 23:31:06 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ICP 上气体控制采样压力控制和MFC控制有什么不同？听说varian的720有三路MFC控制气路，请问分别是哪三路？分别有什么作用？
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2009/3/1 11:55:28 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
标配还是选配 ？
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Last edit by instrumentid
chemistryren
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2009/3/1 17:12:54 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
三路气是不是炬管的载气,冷却气和中间气??
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风之灵
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2009/3/4 16:38:13 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 shirley98436 发表:
ICP 上气体控制采样压力控制和MFC控制有什么不同？听说varian的720有三路MFC控制气路，请问分别是哪三路？分别有什么作用？


压力控制精度差。
MFC指的是质量流量控制。
三路分别是：等离子气(或者叫冷却气)；辅助气；雾化气。

有些特殊的还有做高盐样品时加一路氩气保护气或者护套气；做直接有机物进样时有的会增加一路辅助的氧气。
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lilongfei14
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2009/3/4 17:26:51 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是雾化气、辅助气、冷却气。这三气路。
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