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主题：【求助】气相的氮气流量总是有问题

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crystal_cc_ice

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发表于：2009/03/19 21:54:49 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我用气相打样的时候，如果是10分钟的话，大概在七分钟的时候流量突然会从4ml/min变到3.7左右，直到下一针开始，以前怀疑是进样口气垫漏气，但其他方面都没有问题，基线也很平很稳

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2009/3/20 9:13:53 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 crystal_cc_ice 发表:
我用气相打样的时候，如果是10分钟的话，大概在七分钟的时候流量突然会从4ml/min变到3.7左右，直到下一针开始，以前怀疑是进样口气垫漏气，但其他方面都没有问题，基线也很平很稳

会不会是你的进样量较大，7分钟出样，造成的泄压情况，这是我猜的。

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crystal_cc_ice

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2009/3/21 22:00:04 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

应该不会吧？！我的进样量一般只有1微升啊

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KEN

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2009/3/22 11:45:41 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 crystal_cc_ice 发表:
我用气相打样的时候，如果是10分钟的话，大概在七分钟的时候流量突然会从4ml/min变到3.7左右，直到下一针开始，以前怀疑是进样口气垫漏气，但其他方面都没有问题，基线也很平很稳

你有没有用程序升温？？
用程序升温时有可能会有这种情况。

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雾非雾

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2009/3/22 12:31:23 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 gzzdgx 发表:
原文由 crystal_cc_ice 发表:
我用气相打样的时候，如果是10分钟的话，大概在七分钟的时候流量突然会从4ml/min变到3.7左右，直到下一针开始，以前怀疑是进样口气垫漏气，但其他方面都没有问题，基线也很平很稳

你有没有用程序升温？？
用程序升温时有可能会有这种情况。

在程序升温过程中如果选择恒压模式，流量会随着温度变化而变化的。

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阿宝

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2009/3/22 13:04:45 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 mcds 发表:
原文由 gzzdgx 发表:
原文由 crystal_cc_ice 发表:
我用气相打样的时候，如果是10分钟的话，大概在七分钟的时候流量突然会从4ml/min变到3.7左右，直到下一针开始，以前怀疑是进样口气垫漏气，但其他方面都没有问题，基线也很平很稳

你有没有用程序升温？？
用程序升温时有可能会有这种情况。

在程序升温过程中如果选择恒压模式，流量会随着温度变化而变化的。

恒压控制模式下，随着柱温的升高，气体分子的热运动加剧，气体粘度加大，流量会减小！不过这个过程是随着温度升高逐渐改变的，而楼主说的是到了7min突然变化，所以可以排除是程序升温所致！应该从别的地方找原因吧

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