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主题：【求助】关于XPS定量分析！

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foreverzmw
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发表于：2009/04/13 20:12:15 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我做的是ZnO：Al薄膜，Al的原始掺杂含量为1.5 at%，结果XPS测试的Al/Zn大约为8 at%，这根本不是误差能解释的，我也问过帮我们检测的老师，她说灵敏度因子绝对没错。我想请问各位大侠问题出在哪儿？实际的掺杂含量绝对不可能这么高的。谢谢！
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2009/4/13 21:23:02 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
自己顶一下，希望各位高人解惑啊。谢谢。Zn、Al的灵敏度因子分别为0.537，18.92
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mrbing
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2009/4/13 21:34:10 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问Zn和O的原子数比例是多少？？
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foreverzmw
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2009/4/13 21:58:33 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
初始值1.5,测量计算值为8
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foreverzmw
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2009/4/13 22:01:43 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不好意思写错了，Zn：O大约为1：1。48.3:46.9
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feixiong5134
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2009/4/13 22:23:27 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Al的原始掺杂含量为1.5 at%

这个含量是如何得到的？
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foreverzmw
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2009/4/14 8:30:03 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那是靶材中Al/Zn的比值
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feixiong5134
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2009/4/14 8:45:14 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
什么是靶材？
不好意思？
还有这个比值是那来的？？？？？？
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foreverzmw
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2009/4/14 21:45:19 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们是用磁控溅射制备的，靶材的成分很容易确定
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feixiong5134
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2009/4/16 8:09:56 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 foreverzmw 发表:
我们是用磁控溅射制备的，靶材的成分很容易确定


既然容易确定
你就别用xps的含量数据
因为他是半定量的
误差很大
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lslfangjian
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2009/5/6 22:31:06 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我的资料显示：
Al 2p的面积灵敏度因子为0.234，
Zn 2p3/2的面积灵敏度因子为3.726。
你重新算一下。
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