主题:【求助】如何清洗SEM探头

浏览0 回复11 电梯直达
驰奔
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原文由 syning90(syning90) 发表:
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
我觉得污染应该不在光阑孔上的,阴影只能在扫描光栅的某个截面上,因为在光阑孔处时刻充满电子束,阻挡的是电子束中的一点,在图像中应该不会直接看到阴影。光阑的污染直接造成象散的增加!
而且在低工作距离最低倍数下,看到的圆圈也是下极靴孔的投影,有些电镜物镜光阑像似乎是可以看到,但需要把焦点聚集在光阑上,在显示器上显示一个圆的亮斑。


确实说污染在光阑上也只是一个经验之谈,但我不太同意楼上的关于光阑的看法。确实如你所说,光阑阻挡的是电子束,但请不要忘记,扫描电镜中电子束扫描和荧光屏扫描时同步的,也就是说,荧光屏上的那个黑圈,是光阑阻挡了电子束,而没有落到样品上而造成的。光阑阻挡的不是一点,而是那一个范围内的电子束。

另外,我记得像散的直观表现是图像的变形,好像和物镜光阑污染没啥关系,像散主要造成的原因,是光路中各电磁透镜的误差,直观地说和光学透镜的像散基本上原理相同。

听楼主的问题,感觉还是有污染在光路中,物镜光阑是最有可能的位置。


还是你厉害!
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