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ID:tygk98
行业:其他
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ID:jackyzhao
ID:shxie
原文由 jackyzhao 发表:你的问题跟电镜烘烤无关吧?
原文由 shxie 发表:还是漏气的问题,打电话问问工程师吧,预抽能到正常值,放进去反而漏气,就是样品杆和测角台的问题吧。
ID:liveorevil
原文由 tygk98 发表:昨天又做了一次电镜烘烤,但还是不行。插入样品杆预抽时,P4可达到28;但完全插入样品杆后,P4就慢慢变成了255. 各部分真空现在是:P1:29P2:25P3:43P4:255P5:110SIP的电源指示灯是亮的。1、4、5B、13、17这五个阀门是实心的,其它阀门都是空心的。
原文由 tygk98 发表:O圈也没动过,不可能突然就漏气了。我觉得还是气阀有问题。
ID:sourbing
原文由 sourbing 发表:真空阀会不会漏气?把电镜右后的那个板拆下来,听听那几个阀控制,就是连了一堆黑线那个地方,有没有漏气的声音,我这个电镜就是v6阀老化漏气,我直接把线一夹,解决!