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ID:lshxiaoqiang
行业:其他
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ID:readonly
原文由 lshxiaoqiang 发表:今天把离子源,四级杆,EM。全拆洗了。。。还是未见改变。。。但换了离子源上的2个陶瓷垫片,似乎好了许多。抽一晚上真空,明天见分晓!
原文由 readonly 发表:原文由 lshxiaoqiang 发表:今天把离子源,四级杆,EM。全拆洗了。。。还是未见改变。。。但换了离子源上的2个陶瓷垫片,似乎好了许多。抽一晚上真空,明天见分晓!从这个推断,离子源安装的到位不到位应该也会影响,那个陶瓷垫片好像是耗材,我们有备用的,不过拶指没偶遇见到你说的这个分叉的情况
ID:lpr20
原文由 lpr20 发表:楼主,换了那两个陶瓷片之后问题彻底解决没有?
ID:uhlan
ID:xiaodaowudi
原文由 uhlan 发表:陶瓷片我们从来都没换过,也没出现过问题。这个几率真是很小。
ID:lxx5052
原文由 阿宝(lpr20) 发表:今天请教了一下岛津的工程师,他说真空度不够的时候69也会分叉!不知道对楼主有用没?