主题:【求助】请教Mo,Y痕量测定的方法

浏览0 回复8 电梯直达
midibb
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最近要测量硅片中的Mo和Y的含量,具体的量级还不知道,估计在ppb甚至有可能在ppt量级。我们测金属痕量的时候,一直用的标准加入法,现在已经去购买标样了。由于是第一次测量这两种金属,更因为接触ICP-MS才1个月,因此没有以前的数据可以做对比,怕测出来的数据不准确,有大的干扰因素在里面,所以想请教下各位前辈,给予指点。不管是制样还是测试过程,都请不吝赐教,尤其是哪些方面需要特别注意的,不胜感谢
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lilongfei14
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怕测出来的数据不准确----这个得靠标准样品来决定。所以不要担心。首先得自信~不然准确的数据你都会认为不准确~
nps
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第一次见到有关心硅片中Mo和Y含量的,这两种杂质对硅片的质量影响明显么?
midibb
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光哥
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原文由 lilongfei14 发表:
怕测出来的数据不准确----这个得靠标准样品来决定。所以不要担心。首先得自信~不然准确的数据你都会认为不准确~


问题就是:没标样(这种ppb、ppt浓度的标样),咋办咧??
midibb
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呵呵,标样由客户提供,测出来的数据还算可以,2个片子除了Zn之外,其它元素都没有大的变化,客户还是认可数据的可靠性的
panhuanhuan
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测Mo还有听说过,不过测Y真是头回听说,不过楼主不错,只要平行性好就OK了。
popo
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