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主题：【考考你二】ICP烧炬管有几种原因？

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hunk
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2009/9/17 9:07:08 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
主要还是人员问题--培训一定要严格，仔细，养成良好习惯，经常检查拘管夹具是否正常。
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魅力星光
kikiaa
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2009/9/17 9:22:24 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.功率不正常.
2.冷却气体的流量不足.
3.或者管路连接有漏气.
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jessica_j2008
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2009/9/24 0:02:42 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
冷却气胶管点火过程中突然脱落。
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shaweinan
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2009/9/24 7:33:50 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

　　在分析过程中出现烧炬管的情况一般主要是由于等离子体放电参数设置不合适、等离子体放电在工作中突然发生比较大的变化、射频发生器出现问题、气路突然出现问题等，在重新安装点火后出现烧炬管的情况通常主要是炬管本身的问题和没有安装到位。
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