主题:【求助】XRD薄膜试样的掠射角如何确定?

浏览0 回复3 电梯直达
wuyuy2k
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我的薄膜基底是单晶硅的,膜层是GeSbTe,之前在普通的xrd上做出来的
上想去清华做xrd掠射,打电话问那边的老师说需要自己确定一个掠射角,说是和膜层成分还有厚度有关
我在网上查,有人说掠射角是越小越好,
想问一下大家做薄膜试样掠射角一般是如何确定的呢?
谢谢!
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大陆
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这个老师出发点可能是为你省钱,但根据具体样品优化掠射角应当是实验者的事啊。
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2010/7/23 21:31:43 Last edit by handsomeland
白水山石
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掠角的大小与入射深度有关,角度越大,入射深度越深,角度越小,入射深度越浅。角度越小,在表层的光程就长,角度越大,在表层的光程就越短。所以说,掠角越小越好的说法是有道理的。您可以改变掠角的角度,当角度增大到衍射图中出现了基底的信息的时候就不能再增大角度了,如果您是测量多层膜的话,通过改变掠角的大小,可获得不同层膜材料的信息。
wenxin8451
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原文由 白水山石(tianzhen) 发表:
掠角的大小与入射深度有关,角度越大,入射深度越深,角度越小,入射深度越浅。角度越小,在表层的光程就长,角度越大,在表层的光程就越短。所以说,掠角越小越好的说法是有道理的。您可以改变掠角的角度,当角度增大到衍射图中出现了基底的信息的时候就不能再增大角度了,如果您是测量多层膜的话,通过改变掠角的大小,可获得不同层膜材料的信息。


好回复,谢谢分享!!!
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